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碳化硅微粉厂家价格供应批发型号淄博淄川道新磨料 碳化硅微粉是应用较早使用量较大的微粉之一,在目前市场销售耐火材料用的碳化硅微粉多采用机械粉碎法,其粒径约为15微米之间,而精细陶瓷所用碳化硅微粉制取则主要采取气相反应合成法,该法已有很成熟的工艺,但是,由于传统的加热技术难以控制反应气体分子的时间,近年来又发展了以
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一种碳化硅器件用离子注入来形成高掺杂的制造方法与流程本发明涉及一种碳化硅器件的掺杂制造工艺,更具体地说是涉及一种碳化硅半导体器件用离子注入来形成高浓度掺杂的制造方法。背景技术使用硅器件的传统集成电路大都只能工作在250℃以下,不能满足高温高功率及高频等要求。当中,新型半导体材料碳化硅受人注目和研究。碳化硅半导体
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